Singulus Technologies Aktiengesellschaft: SINGULUS TECHNOLOGIES erhält Auftrag eines weltweit führenden Halbleiterproduzenten für neuartige Anwendung

TIMARIS Vakuum-Beschichtungsanlage, Foto: Singulus Technologies

Kahl am Main (pta006/12.10.2020/08:00 UTC+2) Presse Information

SINGULUS TECHNOLOGIES erhält Auftrag eines weltweit führenden Halbleiterproduzenten für neuartige Anwendung

Kahl am Main, Oktober 12, 2020 - Die SINGULUS TECHNOLOGIES AG (SINGULUS TECHNOLOGIES) meldet die Bestellung einer Produktionsanlage des Typs TIMARIS im Halbleitersegment für die Vakuum-Beschichtung von 300 mm Wafern. Der Auftrag im mittleren einstelligen Millionenbereich wurde von einem der weltweit größten Halbleiterproduzenten erteilt und dient der Serienproduktion von hochintegrierten Induktoren.
"Wir freuen uns, einen weiteren international führenden Halbleiterhersteller für unsere TIMARIS-Vakuum-Beschichtungsplattform gewonnen zu haben. Dies zeigt unsere Kompetenz bei der Prozessentwicklung und die Zuverlässigkeit und Durchsatz unserer Anlagen im Umfeld einer modernen Fabrik für 300 mm Halbleiter-Wafer", kommentiert Dr. Stefan Rinck, CEO der SINGULUS TECHNOLOGIES AG.

Integrierte Induktoren (SiP = System-in-Package) ermöglichen die Realisierung von hochintegrierten und effizienten Schaltreglern und Dünnschicht-Transformatoren. Damit können höhere Versorgungsspannungen direkt auf dem Chip mit geringen Energieverlusten auf niedrigere Arbeitsspannungen transformiert werden. Dies spart Platz sowohl bei Mobilgeräten als auch bei der Verarbeitung von großen Datenmengen und reduziert darüber hinaus den Energieverbrauch der Endgeräte. SINGULUS TECHNOLOGIES ermöglicht damit die immer höhere Integration von Bauelementen in der Halbleiterproduktion und die Reduzierung des Stromverbrauchs.

Die Vakuum-Beschichtungslage des Typs TIMARIS von SINGULUS TECHNOLOGIES ist modular aufgebaut und kann mit verschiedenen Prozess- und Zusatzmodulen ausgestattet werden. Sie wird für das Aufbringen von laminaren, homogenen Schichten im Vakuum eingesetzt. Es handelt sich dabei u.a. um Baugruppen für die Beschichtung, die mit mehreren Kathoden ausgestattet werden können und im Ultrahochvakuum (10-9 Torr) arbeiten. Dabei werden die Silizium-Wafer vollautomatisch in die Anlage eingeschleust und im Vakuum beschichtet.

SINGULUS TECHNOLOGIES - Innovationen für neue Technologien
SINGULUS TECHNOLOGIES entwickelt und baut innovative Maschinen und Anlagen für effiziente und ressourcenschonende Produktionsprozesse, die weltweit in den Bereichen Solar, Halbleiter, Medizintechnik sowie Consumer Goods und Datenspeicher eingesetzt werden.

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