SensorDynamics präsentiert neue 2D und 3D MEMS Drehraten-Sensorelemente
Bewegungssensor mit 6 Freiheitsgraden auf nur 2 x 3 Millimeter folgt in Kürze
Graz (pts005/08.04.2010/09:00) SensorDynamics http://www.sensordynamics.cc , Hersteller von Mikro- und Wireless-Halbleiterprodukten für den Automobil-, Industrie- und High-End-Konsumgütermarkt, gibt die Verfügbarkeit von neuen zwei- und dreiachsigen Drehratensensorelementen bekannt. Die patentierten Sensorelemente werden im bewährten MEMS-Prozess PSM-X2 gefertigt, der seit Januar 2010 auf 8 Zoll Wafern läuft. Sowohl als Einzelkomponente als auch in Kombination mit einem 3D-Beschleunigungssensor eröffnen sie neue Möglichkeiten bezüglich Preis, Zuverlässigkeit und Baugröße.
SensorDynamics wird die 2D- und 3D-MEMS Drehratensensoren im Mai diesen Jahres als Einzelsensoren für Anwendungen in Industrie, Automatisierungstechnik, Medizin und Navigation sowie für den hochwertigen Endverbraucherbereich anbieten. Eine automobiltaugliche, nach AEC-Q100 qualifizierte Variante für den Temperaturbereich von -40 bis +125°C steht ebenfalls auf der Roadmap der SensorDynamics.
Unter Nutzung der patentierten Dual-Cavity Verkapselungstechnologie wird die neue 3D-Drehratensensor mit einem 3D-Bescheunigungssensor integriert. Damit wird eine komplette inertiale Messeinheit mit 6 Freiheitsgraden (6DoF-IMU) auf nur wenigen Quadratmillimetern Chipfläche realisiert. Ein entsprechendes Produkt für den Konsumerbereich wird im Laufe der nächsten Monate verfügbar sein.
Die Basis beider Drehratensensorelemente ist ein mit Eigenresonanz schwingendes Feder-Masse-System. Bei einer äußeren Drehbewegung wirkt die sog. Corioliskraft auf die schwingende Masse und lenkt sie senkrecht zur Schwingungsrichtung aus. Diese Auslenkung verläuft proportional zur Drehrate und liefert das Messsignal. SensorDynamics ist es gelungen, das 2D und 3D MEMS-Sensorelement nach diesem Prinzip so zu konstruieren, dass die Drehrate um 2 bzw. 3 Achsen gleichzeitig mit nur einem einzigen oszillierenden Masseelement gemessen und in unabhängige Ausgangssignale umgesetzt werden kann.
Die Produktfamilien SD75x, SD70x und SD77x/78x, die sich bereits in Massenproduktion befinden, werden in Kürze mit den vielachsigen Drehratensensorprodukten und einer monolithischen 6DoF IMU (6 Degree of Freedom Inertial Measurment Unit) ergänzt.
SensorDynamics - Leading in micro and wireless sensor products
SensorDynamics ist ein semi-fabless Halbleiterunternehmen, das sich auf innovative Sensorlösungen für den Automobil-, Industrie- und High-End-Konsumgütermarkt spezialisiert hat.
Das ISO/TS16949 qualifizierte Unternehmen entwickelt und liefert ausfallsichere Mikro- und Wireless-Halbleiterprodukte für Schlüsselkunden der Automobil-, Automatisierungs-, und High-End-Konsumgüterindustrie. SensorDynamics tritt dabei als unabhängiger Generalunternehmer mit eigener MEMS Fertigung auf und kooperiert mit weltweit führenden Technologiepartnern.
Neben dem Firmenhauptsitz in Lebring bei Graz ist die SensorDynamics mit eigenen Niederlassungen in Italien und Deutschland sowie einem weltweiten Vertriebsnetzwerk vertreten.
Mehr Informationen über SensorDynamics und das Produktportfolio finden Sie auf der Webseite: http://www.sensordynamics.cc
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